真空泵
油密封式．回转式真空泵。和罗茨 泵配合使用。
直连旋转式 真空泵
 |
|---|
SGD系列 |
把用油密封了的旋转泵的0.13～1.3×10-2Pa的变化气体压力压缩，将它们排放到空气中，作为经济实惠的泵体而被广泛应用。直接用油密封的螺旋泵，实现了紧凑性和无尘性
机械增压泵（罗茨泵）
 |
|---|
SMB-D Series SMB-DM 系列 |
罗茨泵是把气体压缩再放出的设 计形式。和真空泵的性能有所差 异。
SMB-D系列
·旋转部3600转／分（60HZ）旋转，有效的把排气机能体现出来。
· 固有压力均衡器可以消除漏出现象。