油密封式．回转式真空泵。和罗茨 泵配合使用。

直连旋转式 真空泵

油密封型油旋转真空泵是可以从大气压排气抽空到7 x 10-2 Pa的真空泵。这是电机一体型的紧凑版直连型泵。

叶片式真空泵，具有良好的静音性和低振动性能。 此外，泵内有防止油倒流的功能，如有意外停止状况时，可有效防止真空泵油的倒流

机械增压泵（罗茨泵）

罗茨泵是把气体压缩再放出的设 计形式。和真空泵的性能有所差 异。

SMB-D系列
旋转部3600转／分（60HZ）旋转，有效的把排气机能体现出来。
·固有压力均衡器可以消除漏出现象。